適應工件：

2～6寸晶圓片清洗

批量產能：

2～6寸25PCS/批

主要材料：

金屬骨架+PVC/PPW殼板，槽體采用SUS316L材質

運送方式：

手動傳送

節拍時間：

依工藝5～30min可調

其他說明：

此設備可根據客戶要求定制全自動